การวัดความต้านทานปริมาตรและความต้านทานพื้นผิวของวัสดุนำไฟฟ้าโดยใช้วิธีการโพรบสี่จุด

วิธีโพรบสี่จุดคือการวัดสี่ขั้วโดยใช้โพรบอาร์เรย์สี่จุดและด้วย
การคำนวณ RCF
สามารถใช้คำนวณความต้านทานปริมาตรและความต้านทานพื้นผิว (ความต้านทานแผ่น) สี่จุด
การวัดค่าความต้านทานของโพรบสามารถทำได้โดยเครื่องวัดความต้านทาน
RM3545 โพรบอาร์เรย์สี่จุด และซอฟต์แวร์แอปพลิเคชันสำหรับพีซี

ไฮไลท์
・ ฮิโอกิ มีโพรบอาร์เรย์สี่จุดในสองรุ่นที่มีระยะห่างโพรบ 5.0 มม. และ 1.5 มม.
・ ฮิโอกิ มีซอฟต์แวร์แอปพลิเคชันสำหรับพีซีสองประเภท: สำหรับ DUT ทรงลูกบาศก์และสำหรับ DUT ทรงกระบอกทึบ
・ค่าพารามิเตอร์ที่วัดได้รวมถึงค่าความต้านทานไฟฟ้า ความต้านทานพื้นผิว และค่าการนำไฟฟ้า ค่าความต้านทาน
สามารถเลือกเป็นค่าอ้างอิงได้
・แอปพลิเคชันแสดง RCF (Resistivity Correction Factor) ที่คำนวณจาก DUT . ที่ป้อน
ขนาดและพิกัดตำแหน่งการวัด
・แอพพลิเคชั่นนี้มีฟังก์ชั่นการใช้งานที่สะดวกของตัวบอกตำแหน่งโพรบ ประวัติการวัด
และแสดงผลการวัดเป็นไฟล์ CSV
・ค่าความต้านทานต่ำวัดด้วยความแม่นยำพื้นฐาน 0.006% และความละเอียดสูงสุด 0.01 μΩ
(ตามข้อกำหนดของ RM3545) ทำให้สามารถคำนวณความต้านทานปริมาตรด้วยระดับสูงของ
ความแม่นยำ