Mengukur resistivitas volume dan resistivitas permukaan bahan konduktif menggunakan metode probe empat titik

Metode probe empat titik adalah pengukuran empat terminal menggunakan probe array empat titik dan dengan
perhitungan RCF.
Ini dapat digunakan untuk menghitung resistivitas volume dan resistivitas permukaan (resistansi lembaran). Empat poin
pengukuran resistivitas probe dimungkinkan oleh Resistance Meter
RM3545, probe susunan empat titik, dan software aplikasi PC.

Highlight
・ Hioki menyediakan probe array empat titik dalam dua varian dengan jarak probe 5,0 mm dan 1,5 mm.
・ Hioki menyediakan dua jenis software aplikasi PC : untuk DUT berbentuk kubus dan untuk DUT silinder padat.
・Parameter terukur meliputi resistivitas volume, resistivitas permukaan, dan konduktivitas. Nilai resistensi
juga dapat dipilih sebagai nilai referensi.
・Aplikasi menampilkan RCF (Faktor Koreksi Resistivitas) yang dihitung berdasarkan DUT yang dimasukkan
dimensi dan koordinat posisi pengukuran.
・Aplikasi ini menyediakan fungsionalitas yang nyaman dari panduan posisi probing, riwayat pengukuran,
dan mengeluarkan hasil pengukuran sebagai file CSV.
・Nilai resistansi rendah diukur dengan akurasi dasar 0,006% dan resolusi maksimum 0,01 μΩ
(sesuai spesifikasi RM3545), memungkinkan resistivitas volume dihitung dengan tingkat tinggi
presisi.