ベアボード検査・パッケージ検査装置（フライングプローブテスタ）

タイプ

水平型両面

アーム数

4 (上面2, 下面2)

機能

自動基板搬送機能付き

• 最先端ICパッケージ基板の4端子低抵抗測定
• 極微細パッドへの高精度プロービング
• 周辺装置と組合わせた自動化システムに対応

• 最速100 points/sec の高速検査とプロービング精度向上の両立
• 10 V で最大100 GΩの絶縁検査
• 検査時間を従来比最大30％削減

• 両面ベアボード検査機
• 超高精度プロービングで高密度パッケージ基板の信頼性を評価
• 微細パットに正確にコンタクト

• 水平型片面ベアボード検査機
• 静電容量方式による、Max.100 points/sec.の高速パターン検査

• 縦型4アーム両面ベアボード検査機
• 低抵抗測定でオープンビア不良検出
• 超絶縁抵抗測定でパターンの形状異常やボイドを検出

• スクエア10 µm高精度コンタクトと高速プロービングを実現
• 稼働率100％を実現したダブル検査方式を採用

• Max. 100 points/sec の高速検査
• 総合プロービング精度15 µm

• 編集、検査点生成、部品内蔵対応の「3-in-1」
• Windows専用の新アルゴリズム
• データ数制限が無くなって、自由度アップ
• 新コマンドの追加で、作成工数を半分に削減

• HIOKI 電気検査装置, データ作成システム専用ビューワソフト