フライングプローブテスタ FA1815-20

効率と信頼性の向上で基板生産を次のレベルへ

FA1815-20製品紹介動画

FA1815-20は、最先端のIT技術に用いられる高密度基板の検査に向けたフライングプローブテスタです。最速100ポイント毎秒の検査スピードと高いプローブ位置精度、また10Vの電圧で100GΩの高い絶縁抵抗を検査できる機能を搭載しています。プローブカードをはじめとした高密度基板の検査時間短縮と、潜在不良を排除した高い品質を実現し、半導体産業の生産性向上に貢献します。

特長

  • 最速100 points/sec の高速検査とプロービング精度向上の両立
  • 測定対象にやさしい10 V/100 GΩの低電圧絶縁抵抗計測
  • プローブカード用基板の検査に最適

形名(発注コード)

FA1815-20 水平型両面 お見積り

概略仕様

アーム数 4 (上面2, 下面2)
取付可能プローブ 1172シリーズ、CP1072シリーズ、CP1073シリーズ
検査ステップ数 4,000,000 ステップ
検査項目・測定範囲 直流定電流導通測定 400.0 mΩ〜1.000 kΩ
直流定電流抵抗測定 40.00 μΩ〜400.0 kΩ
直流定電圧抵抗測定 4.000 Ω〜40.00 MΩ
絶縁抵抗測定 1.000 kΩ〜100.0 GΩ
低電圧絶縁抵抗測定 1.000 MΩ〜 100.0 GΩ
交流定電圧静電容量測定 100.0 fF〜10.00 μF
漏れ電流測定 1.000 μA〜100.0 mA
高電圧抵抗測定 1.000 kΩ〜100.0 GΩ
キャパシタ絶縁測定 1.000 kΩ〜250.0 MΩ
オープン測定 4.000 Ω〜4.000 MΩ
ショート測定 400.0 mΩ〜40.00 kΩ
部品内蔵基板検査項目 LSI接続検査 0.000 V〜12.00 V
交流定電圧抵抗測定 10.00 Ω〜100.0 kΩ
交流定電圧静電容量測定 10.00 pF〜100.0 μF
交流定電圧インダクタンス測定 1.000 μH〜1.000 mH
判定範囲 -99.9%〜+999.9%, または絶対値
移動最小分解能 XYZ:0.1 μm
最小パッドピッチ 上面:34 μm(CP1075-09使用時)
下面:44 μm(CP1075-09使用時)
最小パッドサイズ 上面:4 μm(CP1075-09使用時)
下面:14 μm(CP1075-09使用時)
測定スピード Max. 100 points/s (0.15 mm移動・4アーム同時プロービング, 容量測定時)
検査可能基板 厚さ: 1〜12 mm, 外形: 50W × 50D〜340W × 340D mm
最大検査可能エリア 340W × 340D mm
基板固定 ユニバーサル基板固定ジグ または 静電容量測定用吸着プレート(オプション)
使用エアー 1次側圧力0.5MPa ~ 0.99MPa(乾燥エアー)
最大消費量0.3L/min (ANR)
電源 AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V単相 (発注時指定) 50/60 Hz, 5 kVA
寸法・質量 1355W × 1190H × 1265D mm (突起物除く), 1100 kg±50 kg

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