フライングプローブテスタ FA1815-20
効率と信頼性の向上で基板生産を次のレベルへ
FA1815-20製品紹介動画
FA1815-20は、最先端のIT技術に用いられる高密度基板の検査に向けたフライングプローブテスタです。最速100ポイント毎秒の検査スピードと高いプローブ位置精度、また10Vの電圧で100GΩの高い絶縁抵抗を検査できる機能を搭載しています。プローブカードをはじめとした高密度基板の検査時間短縮と、潜在不良を排除した高い品質を実現し、半導体産業の生産性向上に貢献します。
特長
- 最速100 points/sec の高速検査とプロービング精度向上の両立
- 測定対象にやさしい10 V/100 GΩの低電圧絶縁抵抗計測
- プローブカード用基板の検査に最適
形名(発注コード)
FA1815-20 | 水平型両面 | お見積り |
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概略仕様
アーム数 | 4 (上面2, 下面2) | |
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取付可能プローブ | 1172シリーズ、CP1072シリーズ、CP1073シリーズ | |
検査ステップ数 | 4,000,000 ステップ | |
検査項目・測定範囲 | 直流定電流導通測定 | 400.0 mΩ〜1.000 kΩ |
直流定電流抵抗測定 | 40.00 μΩ〜400.0 kΩ | |
直流定電圧抵抗測定 | 4.000 Ω〜40.00 MΩ | |
絶縁抵抗測定 | 1.000 kΩ〜100.0 GΩ | |
低電圧絶縁抵抗測定 | 1.000 MΩ〜 100.0 GΩ | |
交流定電圧静電容量測定 | 100.0 fF〜10.00 μF | |
漏れ電流測定 | 1.000 μA〜100.0 mA | |
高電圧抵抗測定 | 1.000 kΩ〜100.0 GΩ | |
キャパシタ絶縁測定 | 1.000 kΩ〜250.0 MΩ | |
オープン測定 | 4.000 Ω〜4.000 MΩ | |
ショート測定 | 400.0 mΩ〜40.00 kΩ | |
部品内蔵基板検査項目 | LSI接続検査 | 0.000 V〜12.00 V |
交流定電圧抵抗測定 | 10.00 Ω〜100.0 kΩ | |
交流定電圧静電容量測定 | 10.00 pF〜100.0 μF | |
交流定電圧インダクタンス測定 | 1.000 μH〜1.000 mH | |
判定範囲 | -99.9%〜+999.9%, または絶対値 | |
移動最小分解能 | XYZ:0.1 μm | |
最小パッドピッチ | 上面:34 μm(CP1075-09使用時) 下面:44 μm(CP1075-09使用時) |
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最小パッドサイズ | 上面:4 μm(CP1075-09使用時) 下面:14 μm(CP1075-09使用時) |
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測定スピード | Max. 100 points/s (0.15 mm移動・4アーム同時プロービング, 容量測定時) | |
検査可能基板 | 厚さ: 1〜12 mm, 外形: 50W × 50D〜340W × 340D mm | |
最大検査可能エリア | 340W × 340D mm | |
基板固定 | ユニバーサル基板固定ジグ または 静電容量測定用吸着プレート(オプション) | |
使用エアー | 1次側圧力0.5MPa ~ 0.99MPa(乾燥エアー) 最大消費量0.3L/min (ANR) |
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電源 | AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V単相 (発注時指定) 50/60 Hz, 5 kVA | |
寸法・質量 | 1355W × 1190H × 1265D mm (突起物除く), 1100 kg±50 kg |