特長
- Max. 0.025秒/ステップの高速検査 (1240-01,1240-03)
- ICの足浮き、疑似接触検出
- アクティブ検査対応(オプション)
- 高精度プロービング
- ワイドな検査エリア510×460 mm (1240-01,1240-02)
- 搬送系標準装備
- 自動位置補正機能・簡易ビジュアルテスト機能付き
形名（発注コード）
| 1240-01 | 廃止 | |
|---|---|---|
| 1240-02 | 廃止 | |
| 1240-03 | 廃止 |
概略仕様
| 1240-01, 1240-02 | 1240-03 | |
| アーム数 | 4アーム(L, R, ML, MR) | |
|---|---|---|
| 検査ステップ数 | 40,000ステップ(最大) 300,000ステップ(オプション) |
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| 測定範囲 | 抵抗:400 µΩ〜40 MΩ コンデンサ:1 pF〜400mF インダクタンス:1 µH〜100 H ダイオードVZ測定:0〜25 V ツェナーダイオードVZ測定:0〜25V 25〜80V (オプション) ディジタルトランジスタ: 0〜25 V フォトカプラ: 0〜25 V ショート: 0.4 Ω〜400 kΩ オープン:4 Ω〜40 MΩ 直流電圧測定:0〜25 V |
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| 測定時間 | 0.025 sec/ステッ プ max. (X-Y2.5 mm移動, Z高さ5 mm, 3ステップ同時プロービング, S/O測定時) |
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| プロ-ビング精度 | 各アーム±100 μm以内(X-Y各方向) | |
| 移動反復精度 | ±50 μm以内(プロービング位置) | |
| プローブ間ピッチ | 最小 0.2 mm (ニードルプローブ使用時) 最小 0.5 mm (4端子プローブ使用時) |
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| プローブワークエリア | 510W × 460D mm | |
| 検査可能基板寸法 | 厚さ:0.6〜3.2 mm 外形:Min. 50 × 50 mm, Max. 510 × 460 mm |
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| 電源 | AC200 V ±10%(単相) 50/60 Hz, 3 kVA | |
| 寸法・質量 | 1260W × 1300H × 1200D mm, 1050 kg | 1260W × 1300H × 1200D mm, 1050 kg |
