特長
- 基板検査の省力化を強力にサポート
- インライン機能
- 水平搬送両面同時検査
- 自動基板厚補正でコンタクトエラー排除
- 隠れた欠陥も検出し高品質を確保
- 4端子抵抗測定機能(微小抵抗を抜群の安定性で正確に測定)
- 理論抵抗値と比較判定(基板の設計データから理論抵抗値を算出)
- 200mA導通検査(高電流印加により、パターンの信頼性も確保)
- 100GΩ/250V検査(比較的低い電圧で超絶縁検査が可能)
- 絶縁マイクロショート検査
形名（発注コード）
| FA1275-11 | 自動搬送付き水平型X-Y両面検査機 | 廃止 |
|---|
概略仕様
| アーム数 | 4アーム (上面, 下面各2) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 検査ステップ数 | 300,000ステップ (最大) | |||||
| 測定範囲 | 抵抗:40.00 μΩ〜40.0 MΩ コンデンサ:10.00 fF〜40.00 mF インダクタンス:1.000 µH〜100.0 mH ダイオードVZ測定:0.040 V〜25.00 V ツェナーダイオードVZ測定:0.040 V〜25.00 V 直流電圧測定:0.040 V〜40.00 V |
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| 測定時間 | 0.010 sec/ステッ プ〜 (X-Y 0.15 mm移動, 4アーム同時プロービング, 容量測定時) |
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| プロ-ビング精度 | 各アーム±40 µm以内(X-Y各方向, 20 ±3°C) | |||||
| 移動反復精度 | ±15 µm以内 (プロービング位置, 同一温度時) | |||||
| 移動最小分解能 | X-Y:1.00 µm/pulse Z:5.00 µm/pulse |
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| プローブ間ピッチ | 最小 0.1 mm (リンク式プローブ使用時, L, Rアーム間) |
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| プローブワークエリア | 400W × 324D mm | |||||
| 検査可能基板寸法 | 厚さ:0.4〜2.5 mm 外形:Min. 50W × 50D mm, Max. 400W × 330D mm |
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| プローブクリアランス | Z上面方向: 基板基準面より12 mm (最大) 基板厚含む Z下面方向: 基板基準面より12 mm (最大) |
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| 電源 | AC 200 V ±10%(単相), 50/60 Hz, 5 kVA | |||||
| 寸法・質量 | 1350W × 1206H × 1240D mm, 1100 kg | |||||
